HMDS(hexamethyldisilazane, (CH3)3SiNHSi(CH)
可改變晶圓表面的極性，含
Si一端
(無機端) 與晶圓表面的矽醇基進行化學反應，形成
-Si-O-Si-
鍵結，並使晶圓表面由親水性(Si-OH)
變成疏水性
(Si-CH3)；含
CH3的一端(有機端)
與阻劑中
C、H、O
等分子團產生較強的作用力，進而增加阻劑與晶圓表面的附著力
Surface modification
利用共價鍵結在材料表面形成一單分子層monolayer的化學分子，以改變原來材料的表面特性。使用於生醫應用的方面，主要兩類化學方法，
一是對矽基質的siloxane，另一則是對金的thiol方法。利用hexamethyldisilazane HMDS來披覆一層emthyl(CH3)稱為methylating
the surface增加光阻劑與其他表面的貼附。
HMDS [(CH3)3Si]2NH
去除SiO2表面的OH
group
2SiOH + [(CH3)3Si]2NH ->
2SiOSi(CH3)3 {bound to surface} + NH3
去除SiO2表面的水分 H2O
+ [(CH3)3Si]2NH ->
[(CH3)3Si]2O + NH3
此程序可以用來附著相當多不同的分子到矽的表面，包括蛋白質與基因，另外亦可於金的表面形成thiol來進行。
