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高分子聚合氣相沉積系統

 

聚對二甲苯  N 膜

 

聚對二甲苯  C 膜
  聚對二甲苯  D 膜

 

 

 

 
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   

   

   
 產品與技術 > 聚對二甲苯
 
 

Parylene不吸收可見光,無色透明的薄膜可用于光 學器件、可擦性光電儲存器件和靜電複印器件。它的耐低溫性能也很突出,可用作液氮中使用器件的防護塗層。Parylene的真空出 氣性小于0.1%,真空中釋放的可凝性揮發物含量小于0.01%,表面可以蒸鍍金屬,可用于製作半導體器件、集成 電路和航天探測器件。Parylene化學惰性,不溶于酸 鹼、有 機溶劑,並能抗水解剝蝕。它的表面呈疏水性,對水汽和腐蝕性氣體有很低的滲透性,并有較高的電绝缘性能和热稳定性。使用 時能精确的控制塗層厚度在1~100μm,甚至 幾百nm。精细的尺寸和優異的性能相結合,使Parylene在要求高性能和高可靠性的 當代高新技術產品中得到了越来越多的應用。Parylene塗層可以通 過熱解焊、空氣打磨等一些常規的方法除去,進行電路返修;修理後可再用Parylene塗敷防護,或用少許其它塗層材料修復




 






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