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旋轉塗佈機
  光阻旋轉塗佈
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   

   

   
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ASC-500 Spin Coater Auto In-Line 6Pcs/min UV 固化/熱固化 旋轉塗佈(Spin Coating)時,旋轉載台的軸心提供適當真空度吸著上方基材,旋轉載台帶動基材旋轉後,灑在基材上有機塗膜劑因離心力往基材外圍移動,形成厚度均勻塗層。塗層之厚度與有機塗膜劑本身粘度和旋轉速度(w)、時間有關,一般與轉速平方根成反比,。轉數若太快,旋轉載台的轉動馬達過熱,基材旋轉的中心點位置將不準,導致基材膜層破損
主要特點

精确塗佈系统
塗佈均匀性高
microprocessor 控制系统
速度可调控制
進行加速/减速控制
精确,安全性系统
操作性簡單,方便

主要應用

光阻
(PR)、减反射膜、PI、metallo-organics
Dopants,silica films,
有機鍍膜
CR39 /PC鏡片
適用TFT-LCD,C/F,OLED。-LED,MEMS

              

spin coating for rectangular substrates
Controlled two-dimensional distribution of nanoparticles by spin-coating method
Spin Coating of Thin and Ultrathin Polymer Films
 


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