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旋涂是用于均匀施加过程薄膜到平坦基底 。 总之，少量的溶液（涂布材料）被放置在平坦的基板的中心。 然后将该底材旋轉以高速，以分散的溶液通过离心力 。
后大部分的溶液被剥离出来的基片的边缘，将基板保持旋轉，直到膜的所需厚度。 所施加的溶液通常是挥发性的 ，同时蒸发 。因此，较高的角速度旋轉的，膜越薄。 该薄膜的厚度还依赖于溶液和溶剂的浓度。
旋涂的阶段
虽然不同的工程师计数不同的事情，有四个不同的阶段，以旋涂法。
- 涂布液的沉积到晶片或基底
可以通过使用一个喷嘴和浇注涂层溶液或者通过喷洒到表面上进行。 大幅过量的涂布液通常适用相比所需的量。
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加速基板的至其最终，需要的话，旋转速度
- 基底以恒定速率的旋轉; 流体的粘滞力主导流体变稀
- 基底以恒定速率的旋轉; 溶剂挥发主导涂层变薄
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P-6204 spincoater
8",up to 6" diameter non-programable, 100~8,000 rpm, speed adjustable,
automatic time
ramp time; 1~30
110ACV, 220ACV
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P6204
Spin Coater
The P6204
(8-in. bowl) Non-programmable Spin Coater was designed for the value
conscience in mind. Same high quality as our P6708/6712 series without many
of the programmable and regulating options. Speed is controlled by
adjustable settings.
Speed: 100-8000
RPM, Adjustable
Automatic Timer:0-999 seconds
Acceleration/Deceleration:Ramp
times from 1.0 to 30 seconds
Power:115 VAC, 60Hz,
1 amp or 220 VAC, 50Hz, .5 amp
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P-6708 spincoater
8" up to 6" diameter
programable, 100~8,000 rpm, speed adjustable,
automatic time
ramp time; 1~30
110ACV, 220ACV
multiple ramp up, hold, ramp down |
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