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 返回首頁 > 產品與技術 > 掃描探針顯微鏡

 
 
掃描探針顯微鏡SPM  可對大面積樣品進行定位測量

表面和材料科學
  微米奈米結構表面,粗糙度,摩擦力,高度分佈,自相關評估,軟性材料的彈性和硬度測試  

半導體製造中的測試
 高分辨定量結構分析以及參染濃度的分佈等各種材料特性

物應用 液体中完整活细胞成象,细胞膜孔隙率和結構表面,生物纖维測量,
DNA成像和 局部彈性側量

硬碟檢查 表面檢查和缺陷鑒定,磁籌成象,摩擦力和磨損方式,讀寫頭表面


薄膜表面 孔隙率分析,覆蓋率,附着力,磨損特性,奈米顆粒和島嶼的分佈


失效分析 缺陷識别,電性側量(甚至可穿過鈍化層)和鍵合電極的摩擦特性


掃描範圍 
X-Y: 20mm x 20mm     40mm x 40mm 100mm x 100mm  200mm x 200mm
Z:2.8m
10m

分辨率 垂直方向
<0.01nm  水平方向<1nm

工作模式 接觸(標準)模式,非接觸模式,相對比模式,磁力模式,靜電力模式,側向力模式,力調制模式,參染分佈模式(掃描電容),液體工作模式
 
系统特點
真正的多模式掃描探針顯微鏡。
使用可獲得最高分辨率的光纖干涉儀。
操作简单,使用方便。無需光路調整。
使用光學顯微鏡快速地定位测量部位。
適用于從研究型到多功能型大多數顯微鏡。
具有不同的掃描範圍(最高至
200x200 µm)
測量範圍大,對樣品製備要求少。
適用于液体測量,液相模式下不會有折射問題。
方便轉換SPM的工作模式。
廣泛的軟體包提供多功能的迅速評估方法。
任何情況下都無需機械調整,即使更換針尖也一樣。



 

UltraObjective 學顯结合,實現大面定位掃描SPM
NANOStation® II 高分辨率SPM,配Zeiss學顯微鏡和手動樣品台,最大掃描範圍200µm
NanoStation®300 業領域,可測量300mmWafer
Nano_HDDVD、CD檢測用工具
PicoStation 高分辨率、凑型SPM掃描範圍達到80µm
Accantix 用于檢測微量生化反的微懸臂傳感
PMControl

 


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