掃描探針顯微鏡SPM
可對大面積樣品進行定位測量
表面和材料科學
微米奈米結構表面,粗糙度,摩擦力,高度分佈,自相關評估,軟性材料的彈性和硬度測試
半導體製造中的測試 高分辨定量結構分析以及參染濃度的分佈等各種材料特性
生物應用
液体中完整活细胞成象,细胞膜孔隙率和結構表面,生物纖维測量,DNA成像和
局部彈性側量
硬碟檢查
表面檢查和缺陷鑒定,磁籌成象,摩擦力和磨損方式,讀寫頭表面
薄膜表面
孔隙率分析,覆蓋率,附着力,磨損特性,奈米顆粒和島嶼的分佈
失效分析
缺陷識别,電性側量(甚至可穿過鈍化層)和鍵合電極的摩擦特性
掃描範圍
X-Y: 20mm x 20mm 40mm
x 40mm
100mm x 100mm 200mm x 200mm
Z:2.8m到10m
分辨率
垂直方向<0.01nm
水平方向<1nm
工作模式
接觸(標準)模式,非接觸模式,相對比模式,磁力模式,靜電力模式,側向力模式,力調制模式,參染分佈模式(掃描電容),液體工作模式
系统特點
真正的多模式掃描探針顯微鏡。
使用可獲得最高分辨率的光纖干涉儀。
操作简单,使用方便。無需光路調整。
使用光學顯微鏡快速地定位测量部位。
適用于從研究型到多功能型大多數顯微鏡。
具有不同的掃描範圍(最高至200x200
µm)。
測量範圍大,對樣品製備要求少。
適用于液体測量,液相模式下不會有折射問題。
方便轉換SPM的工作模式。
廣泛的軟體包提供多功能的迅速評估方法。
任何情況下都無需機械調整,即使更換針尖也一樣。
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![](sis.ht1.jpg) |
UltraObjective
可與光學顯微鏡结合,實現大面積定位掃描的SPM![](icoLeaf.gif)
NANOStation® II 高分辨率SPM,配Zeiss光學顯微鏡和手動樣品台,最大掃描範圍200µm![](icoLeaf.gif)
NanoStation®300
應用于工業領域,可測量直徑300mm的Wafer
![](icoLeaf.gif)
Nano_HD
硬碟、DVD、CD檢測的專用工具
PicoStation
高分辨率、緊凑型SPM,掃描範圍可達到80µm![](icoLeaf.gif)
Accantix 用于檢測微量生化反應的微懸臂傳感器![](icoLeaf.gif)
PMControl![](icoLeaf.gif)
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