掃描探針顯微鏡SPM
可對大面積樣品進行定位測量
表面和材料科學
微米奈米結構表面，粗糙度，摩擦力，高度分佈，自相關評估，軟性材料的彈性和硬度測試
半導體製造中的測試 高分辨定量結構分析以及參染濃度的分佈等各種材料特性
生物應用
液体中完整活细胞成象，细胞膜孔隙率和結構表面，生物纖维測量，DNA成像和
局部彈性側量
硬碟檢查
表面檢查和缺陷鑒定，磁籌成象，摩擦力和磨損方式，讀寫頭表面
薄膜表面
孔隙率分析，覆蓋率，附着力，磨損特性，奈米顆粒和島嶼的分佈
失效分析
缺陷識别，電性側量（甚至可穿過鈍化層）和鍵合電極的摩擦特性
掃描範圍
X-Y： 20mm x 20mm 40mm
x 40mm
100mm x 100mm 200mm x 200mm
Z：2.8m到10m
分辨率
垂直方向<0.01nm
水平方向<1nm
工作模式
接觸（標準）模式，非接觸模式，相對比模式，磁力模式，靜電力模式，側向力模式，力調制模式，參染分佈模式（掃描電容），液體工作模式
系统特點
真正的多模式掃描探針顯微鏡。
使用可獲得最高分辨率的光纖干涉儀。
操作简单，使用方便。無需光路調整。
使用光學顯微鏡快速地定位测量部位。
適用于從研究型到多功能型大多數顯微鏡。
具有不同的掃描範圍（最高至200x200
µm）。
測量範圍大，對樣品製備要求少。
適用于液体測量，液相模式下不會有折射問題。
方便轉換SPM的工作模式。
廣泛的軟體包提供多功能的迅速評估方法。
任何情況下都無需機械調整，即使更換針尖也一樣。
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UltraObjective
可與光學顯微鏡结合，實現大面積定位掃描的SPM
NANOStation® II 高分辨率SPM，配Zeiss光學顯微鏡和手動樣品台，最大掃描範圍200µm
NanoStation®300
應用于工業領域，可測量直徑300mm的Wafer
Nano_HD
硬碟、DVD、CD檢測的專用工具
PicoStation
高分辨率、緊凑型SPM，掃描範圍可達到80µm
Accantix 用于檢測微量生化反應的微懸臂傳感器
PMControl
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